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EVG Lithoscale Système d’exposition sans masque
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Caractéristiques techniques
· ID 168185564Machines
- Année de construction
- 2023
- Emplacement
- Munich, Germany
Identifikation
FabricantEVG
ModèleLithoscale
Numéro d’article8087731
Technik
Quantité1
Description
Fabricant : EVG
Modèle : Lithoscale
Année de fabrication : 2023
État Nouveau-Jamais utilisé
Configuration technique :
• Pour l’exposition sans masque de plaquettes jusqu’à 300 mm
• Platine de haute précision avec compensation d’erreur de coin sans contact
• Auto-étalonnage via des capteurs intégrés
• Extensibilité jusqu’à deux (2) têtes d’exposition au total pour un débit maximal
• Unité de commande séparée
• Logiciel EVG CIM Framework
• Autodiagnostic lors du démarrage de la machine, initialisation automatique de tous les moteurs, interrupteurs de fin de position, capteurs et
• Inspection disponible sur demande
• Contrôlé par PC
Modèle : Lithoscale
Année de fabrication : 2023
État Nouveau-Jamais utilisé
Configuration technique :
• Pour l’exposition sans masque de plaquettes jusqu’à 300 mm
• Platine de haute précision avec compensation d’erreur de coin sans contact
• Auto-étalonnage via des capteurs intégrés
• Extensibilité jusqu’à deux (2) têtes d’exposition au total pour un débit maximal
• Unité de commande séparée
• Logiciel EVG CIM Framework
• Autodiagnostic lors du démarrage de la machine, initialisation automatique de tous les moteurs, interrupteurs de fin de position, capteurs et
• Inspection disponible sur demande
• Contrôlé par PC
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