PLASSYS - 2006 - CVD500 - Système complet de dépôt sous vide/CVD

L'équipement comprend un système complet de dépôt sous vide/CVD avec son électronique de commande, ses composants de vide, ses pompes à vide poussé, ses alimentations RF, ses actionneurs et ses capteurs. Le châssis, initialement fabriqué en 1998, a fait l'objet d'une importante modernisation en 2011 avec des composants plus récents.

Le système est vendu en l'état, pour pièces ou à réparer. Le système n'était pas entièrement connecté et ne possédait pas de mot de passe, ce qui empêche tout test supplémentaire.



Le système comprend les principaux composants suivants :



Composants de vide et de pompage

Pompe turbo ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M

2 aspirateurs Leybold CTR 90 CERAVAC

Jauge à cathode froide compacte PFEIFFER IKR 251

Vanne d'angle à vide TVA 26432-KA41-0001/0319

Valve de vide VAT supplémentaire de grande taille

Grand ensemble de vannes à vide poussé

Système d'actionnement : actionneur linéaire THC-8AWDS (course de 400 mm)

Divers capteurs, notamment de pression, de température et de commutation

Divers actionneurs, notamment des électrovannes et des éléments chauffants

Cadre CVD (SP-500 d'origine, modifié en 2011)

Armoire de contrôle du débit massique (incluse)



Alimentation RF et puissance

Amplificateur RF Dressler – AE Dressler VM 1000 A, 1000 W, 13,56 MHz

Unité RFPP RF10S

Advanced Energy MDX 500 (non fonctionnel – ne s'allume pas)

Puissance RF AM-5 7600001010, 500 W, 13,56 MHz

Alimentation TDK Lambda GEN40-125



Unité de commande et électronique

Contrôleur ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M

Contrôleur de soupape d'échappement MKS Type 252C-1-VPO

Contrôleur de pression automatique MKS Type 152

Contrôleur de pression automatique MKS Type 600

MKS Type 2708

PC rackable 19″ (aucun mot de passe pour le logiciel de contrôle)

Mise sur palette et chargement a faire par l'acheteur sur place

Auction-ID: A1-47375-1
seller offer No. resale bf37538f-c44a-4c69-b815-ac13670ebf60