L'équipement comprend un système complet de dépôt sous vide/CVD
avec son électronique de commande, ses composants de vide, ses pompes
à vide poussé, ses alimentations RF, ses actionneurs et ses
capteurs. Le châssis, initialement fabriqué en 1998, a fait l'objet
d'une importante modernisation en 2011 avec des composants plus
récents. D'après les journaux système, sa dernière utilisation
remonte à 2021.
Le système est vendu en l'état, pour pièces ou à réparer, car la
machine n'a pas été entièrement alimentée ni testée. Seule
l'armoire électrique a été mise sous tension. Le système n'était
pas entièrement connecté et ne possédait pas de mot de passe, ce
qui empêche tout test supplémentaire ou vérification de sa
conformité aux normes de sécurité.
Le système comprend les principaux composants suivants :
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ATH 1300M
2X Leybold Vacuum CTR 90 CERAVAC (1torr and 10torr)
1X VAT 26432-KA41-0001/0319 Vacuum Angle Valve
1X PFEIFFER IKR 251 HIGH VACUUM COMPACT COLD CATHODE
1X large HI VAC valve
1X Actuation System THC-8AWDS Linear Actuator 400mm
1X RF DRESSLER - AE Dressler VM 1000 A, 1000 W 13,56 MHz
Control Unit
1X ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER ACT 1300M
1X magnetron drive ADVANCED ENERGY MDX 500 (does not turn on)
1X Cesar RF Power Supply
1X MKS, Type 252, 252C-1-VPO, Exhaust Valve Controller
1X MKS Type 152 Automatic Pressure Controller
1X 19\" rack-mount computer
Armoire de contrôle du débit massique (incluse)
(aucun mot de passe pour le logiciel de contrôle)
Mise sur palette et chargement a faire par l'acheteur sur
place
Auction-ID: A1-47375-2